研究装置

• 環境制御型原子間力顕微鏡 E-Sweep（SII社製）
• 高温ダイナミック超微小硬度計 DUH-510S（島津製作所製）
• オートグラフ AG-I（島津製作所製）
• 小型システム顕微鏡、顕微鏡デジタルカメラ（オリンパス）
• 振動式自動研磨機（米国ビューラー社製）
• 高速ディジタイザー、プリアンプ（アコースティック・エミッション用）
• 小型卓上圧縮試験機（自作）
• 微小材料用二軸引張試験機（自作）
• 小型落錘型圧縮試験機（自作）
• 油圧式サーボ疲労試験機 EHF-EB50KN（島津製作所製）
• ワークステーション 10台
• 非線形構造解析ソフトウェア MSC、Marc 5ライセンス
• 第一原理および分子動力学関連の計算ソフトウェア
• 3次元マイクロマニピュレーター（ナリシゲ）
• スピンコーター（ミカサ）
• 精密切断機（プレシソーCL40）
• ファインカッター（平和テクニカ）
• デジタルマイクロスコープ（ハイロックス）
• 埋込み機（プレシドンMA-Q）
• クリーンルーム，クリーンブース，ドラフトチャンバー
• パルスレーザーTempest 250mJ
• パルスレーザーLOTIS TII 500mJ
• レーザー超音波干渉計 Tempo500 自動スキャニング搭載
• 真空加熱炉
• フォトニックドップラー干渉計PDV

（共通設備，借用設備）

• 走査型電子顕微鏡　Qunta250 FEI
• 分析走査電子顕微鏡：JSM-IT500LA
• 高真空蒸着装置　SVC-700TM サンユー電子
• X線CTスキャナ SkyScan-1172
• 電磁力式微小材料試験機マイクロサーボMMTシリーズ
• ARAMIS:高精度3Dモーションと変形解析システム
• Objet260 Connex1 3D Printer